[发明专利]布线形成装置、维护方法以及布线形成方法有效
| 申请号： | 201310742866.5 | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN103906367A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 奥村哲也;齐藤健;佐野雅规 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/14 | 分类号： | H05K3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成装置、维护方法以及布线形成方法。布线形成装置(1)具有雾化装置(2)、喷嘴(3)以及将它们连接的连通管(4)，从喷嘴(3)喷射雾化后的糊剂材料而在基板(W)上进行布线图案的形成。布线形成装置(1)具备：第一气体供给部(61)，其向连通管(4)内供给第一维护气体；吸引部(63)，其对连通管(4)内进行吸引；以及第二气体供给部(65)，其向连通管(4)内供给第二维护气体。连通管(4)内的吸引和第二维护气体的供给同时进行。而且，进行控制使得在布线形成的空闲时间分别进行第一维护气体的供给以及第二维护气体的供给和吸引，能够与布线图案的形成同时地实施布线形成装置(1)的维护。 | ||
| 搜索关键词： | 布线 形成 装置 维护 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种布线形成装置，具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料；以及连通管，其将上述雾化装置与上述喷嘴连接，该布线形成装置通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的特征在于，具有：第一气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧，向上述连通管内供给第一维护气体；吸引部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方，对上述连通管内进行吸引；以及第二气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的、未设置上述吸引部的连接部侧，向上述连通管内供给第二维护气体。
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