[发明专利]一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法，1）向Mo粉与Ti粉内加溶剂和粘结剂磨制成浆料；2）用喷雾机对浆料喷雾造粒，进口温度为250-300℃，喷头转速为8000-12000rpm，得到Mo-Ti复合粉，压制成尺寸规整的坯料；3）将多个坯料装入包套内，向相邻坯料间内填充入50-250μm的Mo-Ti复合粉形成均匀的复合粉层，复合粉层厚度为0.5-1mm，保证任意一侧包套内壁与相邻坯料外壁间的间隙小于或等于0.5mm；4）将包套焊接、脱气后热等静压处理，处理条件为750-900℃、120-160MPa，保温保压时间为4-6h，去除包套即可。该方法制作的靶材可用作溅射沉积技术的阴极材料。

主权项

一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法，包括如下步骤，（1）向Mo粉与Ti粉内加入溶剂和粘结剂后磨制成浆料；（2）用喷雾机对所述浆料进行喷雾造粒，所述喷雾机的进口温度为250‑300℃，所述喷雾机的喷头转速为8000‑12000rpm，得到Mo‑Ti复合粉；（3）将所述Mo‑Ti复合粉压制成尺寸规整的坯料，将多个所述坯料装入热等静压用包套内，向相邻所述坯料间的缝隙内填充入粒径为50‑250μm的所述Mo‑Ti复合粉形成厚度均匀的Mo‑Ti复合粉层，所述Mo‑Ti复合粉层的厚度为0.5‑1mm，同时保证任意一侧包套内壁与相邻坯料外壁间的间隙小于或等于0.5mm；（4）将包套焊接、脱气后进行热等静压处理，处理条件为750‑900℃、120‑160MPa，保温保压时间为4‑6h，之后去除包套即可。