[发明专利]对具有与工艺水平不相称良率的芯片的分类方法

摘要

一种对具有与工艺水平不相称良率的芯片的分类方法，本发明基于个性化的产品本身，根据该芯片电性测试中各测试项的测试结果，对测试项与制作芯片所用工艺参数进行相关性分析，若测试项与所述工艺参数均不相关，则判断芯片所具有的与工艺水平不相称良率不属于特殊的、系统性的问题；此外，为避免大量运算，提高效率，并非对每个测试项进行相关性分析，而是对相关的每组中良率最低的测试项与工艺参数进行相关性分析。上述分类法可以准确判断与工艺水平不相称芯片良率的产生原因是特殊的、系统性问题，可以避免人力物力浪费。

主权项

一种对具有与工艺水平不相称良率的芯片的分类方法，其特征在于，包括：获取至少一晶元上若干芯片的电性测试中各测试项的测试结果；根据上述测试结果获取该晶元对应的每个测试项的良率损失；根据该晶元对应的每个测试项的良率损失对各测试项进行相关性分析；根据各测试项是否相关将上述所有测试项进行分组；寻找每组中良率损失最严重的测试项；对良率损失最严重的测试项与制作芯片所用工艺参数进行相关性分析，若该测试项与所用工艺参数均不相关，则芯片所具有的与工艺水平不相称良率不属于特殊的、系统性的问题。