[发明专利]基板烘烤装置及其温度调节方法有效
| 申请号： | 201310752239.X | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103760753A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 姚江波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板烘烤装置及其温度调节方法，该基板烘烤装置包括：用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体，其包括由若干个分区热板构成的热板，和温度调整机构，用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。所述热板上设有导热层，所述导热层覆盖各分区热板。该基板烘烤装置能提高基板的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 装置 及其 温度 调节 方法 | ||
【主权项】：
一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：用于对基板进行烘烤的烘烤设备本体，其包括由若干个分区热板构成的热板，和温度调整机构，用于调整烘烤设备本体的各分区热板的加热温度。
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