[发明专利]反应腔加热控制方法及装置在审
| 申请号： | 201310753142.0 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104750140A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张孟湜 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D23/30 | 分类号： | G05D23/30 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 陈振 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种反应腔加热控制方法及装置。其中方法包括以下步骤：在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测；根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连；当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制。该方法及装置能够实现判断加热器断连，降低作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时对整个加热控制装置的不良影响。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 加热 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种反应腔加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测；根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连；当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制。
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