[实用新型]一种碳化硅单晶炉的感应圈固定安装装置有效

专利信息
申请号: 201320005265.1 申请日: 2013-01-06
公开(公告)号: CN203096232U 公开(公告)日: 2013-07-31
发明(设计)人: 赵梅玉;邓树军;高宇;陶莹;段聪 申请(专利权)人: 河北同光晶体有限公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B35/00
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 杨立
地址: 102206 北京市昌*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置,包括感应圈、上紧固板、下紧固板、支板以及立板,所述感应圈固定连接在所述上紧固板与下紧固板之间,所述上紧固板和下紧固板上均固定连接有支板,且上下两块支板在竖直方向上平行设置,所述立板固定连接于上下两块支板之间。本实用新型通过感应圈连接上下法兰,将感应圈和水冷电缆相对固定,减小感应圈内部水流量及感应圈本身运动带来的对室内温场的不稳定状态,同时,整套装置结构简单,便于安装和调试。
搜索关键词: 一种 碳化硅 单晶炉 感应圈 固定 安装 装置
【主权项】:
一种碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置,其特征在于,包括感应圈(1)、上紧固板(2)、下紧固板(3)、支板(4)以及立板(5),所述感应圈(1)固定连接在所述上紧固板(2)与下紧固板(3)之间,所述上紧固板(2)和下紧固板(3)上均固定连接有支板(4),且上下两块支板(4)在竖直方向上平行设置,所述立板(5)固定连接于上下两块支板(4)之间。
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