[实用新型]一种硅片清洗系统有效
| 申请号： | 201320010915.1 | 申请日： | 2013-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN203002684U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 龙峰;杨银博;黄杰;汪飞;陈熙 | 申请（专利权）人： | 英利集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 071051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种硅片清洗系统，其特征在于，包括硅片预清洗机，储水装置，硅片清洗机，第一输水管路，第二输水管路，其中，所述硅片预清洗机至少具有进水口和输水口，所述硅片清洗机至少具有出水口，所述储水装置至少具有进水口；所述硅片清洗机出水口的水平位置高于所述硅片预清洗机的进水口，硅片预清洗机进水口与硅片清洗机出水口通过第一输水管路相连，硅片预清洗机的输水口与储水装置的进水口通过第二输水管路相连。由于本实用新型提供的硅片清洗系统设计简单，施工成本低，维修维护频率低，且相比于现有技术的复杂系统，能源消耗也大大减少，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗系统，其特征在于，包括硅片预清洗机，储水装置，硅片清洗机，第一输水管路，第二输水管路，其中，所述硅片预清洗机至少具有进水口和输水口，所述硅片清洗机至少具有出水口，所述储水装置至少具有进水口；所述硅片清洗机出水口的水平位置高于所述硅片预清洗机的进水口，硅片预清洗机进水口与硅片清洗机出水口通过第一输水管路相连，硅片预清洗机的输水口与储水装置的进水口通过第二输水管路相连。
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