[实用新型]一种单晶炉气体供给系统

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉气体供给系统，包括用于向单晶炉内通入氩气的氩气供给管路和用于向单晶炉内通入压缩空气的空气供给管路，还包括：将氩气供给管路和空气供给管路连通的切换管路；设置于切换管路上的第一开关阀；设置于空气供给管路上的第二开关阀，第二开关阀位于空气供给管路的进气口与切换管路与空气供给管路的相接点之间；用于检测空气供给管路内部气压的压力表。本实用新型提供的单晶炉气体供给系统，在压缩空气出现供给异常时，可以利用氩气代替压缩气体继续对单晶炉内的气动球阀进行控制，避免由于气动球阀自动关闭而影响硅棒成品率。

主权项

一种单晶炉气体供给系统，包括用于向单晶炉内通入氩气的氩气供给管路（1）和用于向所述单晶炉内通入压缩空气的空气供给管路（2），其特征在于，还包括：将所述氩气供给管路（1）和所述空气供给管路（2）连通的切换管路（3）；设置于所述切换管路（3）上的第一开关阀（32）；设置于所述空气供给管路（2）上的第二开关阀（21），所述第二开关阀（21）位于所述切换管路（3）与所述空气供给管路（2）的相接点和所述空气供给管路（2）的进气口之间；用于检测所述空气供给管路（2）内部气压的压力表。