[实用新型]俄歇电子能谱分析设备有效
| 申请号： | 201320094039.5 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN203133001U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 文智慧;高保林;王倩;李日鑫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种俄歇电子能谱分析设备，包括：真空腔室、电子枪、能量分析器、导电探针及探针控制器。所述电子枪设置于真空腔室的内部，能量分析器与真空腔室连接，所述导电探针设置于真空腔室的内部，所述探针控制器设置于真空腔室的外部，并与所述导电探针连接。本实用新型提供的俄歇电子能谱分析设备采用导电探针消除俄歇电子能谱分析中的荷电效应，从而能够得到清晰准确的分析结果。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 谱分析 设备 | ||
【主权项】：
一种俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，包括：真空腔室、电子枪、能量分析器、导电探针及探针控制器；所述电子枪设置于真空腔室的内部，能量分析器与真空腔室连接；所述导电探针设置于真空腔室的内部；所述探针控制器设置于真空腔室的外部，并与所述导电探针连接。
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