[实用新型]用于真空镀膜机的真空插板阀有效
申请号: | 201320104708.2 | 申请日: | 2013-03-06 |
公开(公告)号: | CN203238322U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 黄玉春 | 申请(专利权)人: | 黄玉春 |
主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 湖北省保*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的真空插板阀,包括阀体,因所述的阀体内部设置有插板阀机构,该插板阀机构包括设置于阀体一内侧壁的阀板、设置于阀板上至少两个导向轮和松门挡板,设置于阀板下方的用于支撑阀板及压紧松开阀板的偏心轴,阀板推拉机构以及设置于阀板上的密封圈。使用时,当插板阀中的偏心轴在导向轮上的凹槽内向不同方向旋转时,驱使阀板的压紧或者松开方向移动,实现插板阀压紧及松开阀板动作,再由阀板推拉机构实现阀门的打开和关闭。与现有技术中的挤压机构或者导槽机构或者气顶机构相互比较,本实用新型具有提高整个插板阀的可靠性及密封性,降低成本的目的。另外,本实用新型还具有结构简单。 | ||
搜索关键词: | 用于 真空镀膜 真空 插板 | ||
【主权项】:
一种用于真空镀膜机的真空插板阀,包括阀体,所述的阀体内部设置插板阀机构,该插板阀机构包括设置于阀体一内侧壁的阀板,设置于阀板上的至少两个导向轮和松门挡板,设置于阀板下方的用于支撑阀板及压紧或松开阀板的偏心轴、分别安装于阀板上的密封圈以及阀板推拉机构。
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