[实用新型]一种用于半导体生产的节能降耗系统有效
| 申请号： | 201320112288.2 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN203179846U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 郑大强 | 申请（专利权）人： | 富毅特（上海）环保科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王建国 |
| 地址： | 201209 上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于半导体生产的节能降耗系统，所述系统包括：一用于生产半导体的生产机房；一用于调节生产机房内温度的冰机；一用于对生产用水进行热交换的一级热交换器；一用于存储生产用水的水箱；一用于对生产用水进行热交换的二级热交换器；一用于供应生产用水的纯水处理系统；一用于提供终端生产工艺用水的终端用水点；所述生产机房、冰机、一级热交换器、二级热交换器、终端用水点顺序连接，所述纯水处理系统、二级热交换器、水箱、一级热交换器顺序连接。所述系统可有效利用冰机冷却后产生的热能，合理利用水资源，提高系统的热量利用效率，降低能耗，保护环境和资源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 生产 节能降耗 系统 | ||
【主权项】：
一种用于半导体生产的节能降耗系统，其特征在于，所述系统包括：一用于生产半导体的生产机房（201）；一用于调节生产机房（201）内温度的冰机（202）；一用于对生产用水进行热交换的一级热交换器（203）；一用于存储生产用水的水箱（205）；一用于对生产用水进行热交换的二级热交换器（207）；一用于供应生产用水的纯水处理系统（208）；一用于提供终端生产工艺用水的终端用水点（209）；所述生产机房（201）、冰机（202）、一级热交换器（203）、二级热交换器（207）、终端用水点（209）顺序连接，所述纯水处理系统（208）、二级热交换器（207）、水箱（205）、一级热交换器（203）顺序连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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