[实用新型]真空镀膜室用的视镜机构有效
申请号: | 201320142588.5 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212638U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种真空镀膜室用的视镜机构,视镜腔内设有挡板组件,挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座,挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内,挡板设于挡板轴的输出末端,挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板,任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈,隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈。本真空镀膜室用的视镜机构结构简单,通过在视镜腔内设置带有隔热板的挡板组件,通过挡板组件减少弧源对视镜玻璃的污染,通过隔热板和陶瓷垫圈降低视镜玻璃所承受的温度,从而较好地保障视镜玻璃的性能,视镜机构也可应用于更高工作温度(高达500~800℃)的真空镀膜室。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜 机构 | ||
【主权项】:
真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,视镜腔内设有挡板组件,挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座,挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内,挡板设于挡板轴的输出末端,挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板,任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈,隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈。
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