[实用新型]排液槽装置有效
| 申请号： | 201320145742.4 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203173802U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张文武;杨群;太双;刁春华;周鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/78 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种排液槽装置，包括：排液槽、进液管、排液泵、第一排液管、第二排液管、处理器、排气管以及排气阀；进液管与排液槽连接；排液泵的一端与第一排液管连接，第一排液管伸入排液槽中，排液泵的另一端连接第二排液管；处理器与排液泵连接；排气管的一端与排液槽连接，另一端与第二排液管连接；排气阀设置在排气管上。通过排气管将残留在第一排液管与排液泵中过量的气体排入至排液槽中，从而可以避免过量的气体进入排液泵中造成排液泵长时间的空打，增加排液泵的使用寿命，进而节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 排液槽 装置 | ||
【主权项】：
一种排液槽装置，其特征在于，包括：排液槽；进液管，与所述排液槽连接；排液泵；第一排液管，一端与所述排液泵连接，另一端伸入所述排液槽中；第二排液管，与所述排液泵连接；处理器，与所述排液泵连接；排气管，一端与所述排液槽连接，另一端与所述第二排液管连接；以及排气阀，设置在所述排气管上。
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