[实用新型]一种高曲度弧形阴极磁控溅射靶有效

专利信息
申请号: 201320181124.5 申请日: 2013-04-12
公开(公告)号: CN203222616U 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 韩裕鲲 申请(专利权)人: 昆山艾诺美航天材料有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种用于战机座舱罩镀膜的高曲度弧形阴极磁控溅射靶,包括弧形基架、充气管、永久磁体、辉光放电电极。所述弧形基架是溅射靶的主要部分,它的形状是本实用新型设计的重点。所述弧形基架的圆弧面用许多片所述永久磁体覆盖。所述弧形基架左侧端面用螺栓固定两条所述充气管,右侧端面用螺栓固定所述辉光放电电极。本实用新型高曲度弧形阴极磁控溅射靶,形状符合飞机座舱罩曲面外形,能够实现对复合曲面的飞机座舱罩快速、均匀的大面积镀膜,确保其导电率和透光率。
搜索关键词: 一种 曲度 弧形 阴极 磁控溅射
【主权项】:
一种高曲度弧形阴极磁控溅射靶,其特征在于:包括弧形基架、充气管道、永久磁体、辉光放电电极,所述弧形基架的形状是圆弧形,所述弧形基架圆弧面用许多片所述永久磁铁覆盖,所述弧形基架左侧端面用螺栓固定两条所述充气管,右侧端面用螺栓固定所述辉光放电电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山艾诺美航天材料有限公司,未经昆山艾诺美航天材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320181124.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code