[实用新型]一种高曲度弧形阴极磁控溅射靶有效
申请号: | 201320181124.5 | 申请日: | 2013-04-12 |
公开(公告)号: | CN203222616U | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 韩裕鲲 | 申请(专利权)人: | 昆山艾诺美航天材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于战机座舱罩镀膜的高曲度弧形阴极磁控溅射靶,包括弧形基架、充气管、永久磁体、辉光放电电极。所述弧形基架是溅射靶的主要部分,它的形状是本实用新型设计的重点。所述弧形基架的圆弧面用许多片所述永久磁体覆盖。所述弧形基架左侧端面用螺栓固定两条所述充气管,右侧端面用螺栓固定所述辉光放电电极。本实用新型高曲度弧形阴极磁控溅射靶,形状符合飞机座舱罩曲面外形,能够实现对复合曲面的飞机座舱罩快速、均匀的大面积镀膜,确保其导电率和透光率。 | ||
搜索关键词: | 一种 曲度 弧形 阴极 磁控溅射 | ||
【主权项】:
一种高曲度弧形阴极磁控溅射靶,其特征在于:包括弧形基架、充气管道、永久磁体、辉光放电电极,所述弧形基架的形状是圆弧形,所述弧形基架圆弧面用许多片所述永久磁铁覆盖,所述弧形基架左侧端面用螺栓固定两条所述充气管,右侧端面用螺栓固定所述辉光放电电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山艾诺美航天材料有限公司,未经昆山艾诺美航天材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201320181124.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种能调节鞋底高度的鞋子
- 下一篇:小型压机自动换模系统
- 同类专利
- 专利分类