[实用新型]四氟乙烯硅棒腐蚀装置

摘要

本实用新型涉及的一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置。它包括：二个腐蚀槽，一个用来化学腐蚀，另一个用来腐蚀之后的高纯水清洗；一个样棒篮，用于将腐蚀好的样棒从化学腐蚀腐蚀槽中取出再放入高纯水清洗腐蚀槽中，再将高纯水清洗完成后的硅棒取出；底面全部设计为孔板，三个侧面从底部到高度2mm位置为孔板，上方为实板，孔密度10000个/m2，便于酸液和水液全部漏尽。样棒篮上设计提手，方便手动操作，提手为半圆棒，在侧面实板位置，提手高度6cm。经实际使用验证，其具有低损耗，使用寿命长，可操作性强等优点。

主权项

一种四氟乙烯硅棒腐蚀装置，它包括：二个腐蚀槽(1)和一个样棒篮(2)组成，其特征在于：腐蚀槽(1)为长方体结构，底面和四个侧面密封，上面敞开；样棒篮(2)长方体结构，底面和三个侧面密封，上面和一个侧面敞开，样棒篮(2)的底面全部为孔板，孔密度10000个/m2，样棒篮(2)的三个侧面从底部到高度2mm位置为孔板，上方为实板。