[实用新型]一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件有效
| 申请号： | 201320202453.3 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN203241090U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 石兆奇;杨亮 | 申请（专利权）人： | 西安鼎研科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，包括测量气室，及设置于测量气室前端的红外光源和尾端的接收气室；所述测量气室前端红外光源与测量气室腔室之间设置有1#光学窗口，1#光学窗口垂直连接一切光片，切光片连接有切光片马达；所述测量气室腔室侧壁设置有进气口和出气口；所述测量气室尾端接收气室设置有两个光学窗口，接收气室上设置有钨丝微流量传感器。该器件通过利用两级螺旋钨丝的两级螺线管道结构作为微流量检测器件，两级螺线结构的钨丝制造成本低，大大降低了红外微流量传感器的制造成本和研发成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 组分 气体 红外 流量传感器 流量 检测 器件 | ||
【主权项】：
一种用于多组分气体红外微流量传感器的微流量检测器件，其特征在于：包括测量气室（10），及设置于测量气室（10）前端的红外光源（6）和尾端的接收气室；所述测量气室（10）前端红外光源（6）与测量气室（10）腔室之间设置有1#光学窗口（5），1#光学窗口（5）垂直连接一切光片（8），切光片（8）连接有切光片马达（7）；所述测量气室（10）腔室侧壁设置有进气口（9）和出气口（11）；所述测量气室（10）尾端接收气室设置有两个光学窗口，接收气室上设置有钨丝微流量传感器（1）。
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