[实用新型]用于真空镀膜设备的冷凝装置

摘要

一种用于真空镀膜设备的冷凝装置，包含有一进气管、一出气管，以及一介于进气管与出气管之间的冷阱组件，冷阱组件具有一第一弧形弯管及一第二弧形弯管，第一弧形弯管与进气管之间、第一、第二弧形弯管之间，以及第二弧形弯管与出气管之间分别藉由一个冷阱管而两两连接在一起，各冷阱管内设有一障板组，各障板组具有多数个相互并排的倾斜障板及一贴抵于各倾斜障板的冷却水管，藉此，来自腔体内的蒸气在通过冷阱组件的过程中会顺利凝结在各倾斜障板的表面，并能避免对第一弧形弯管及第二弧形弯管造成腐蚀损坏。

主权项

一种用于真空镀膜设备的冷凝装置，其特征在于，该真空镀膜设备包含有一腔体及一真空泵，该冷凝装置包含有： 一进气管，用以连接该腔体； 一出气管，用以连接该真空泵；以及 一冷阱组件，位于该进气管与该出气管之间，并且具有一第一弧形弯管、一第二弧形弯管、三冷阱管及至少三障板组，该第一弧形弯管与该进气管之间、该第一、第二弧形弯管之间及该第二弧形弯管与该出气管之间分别藉由一该冷阱管而连接在一起，且该第一、第二弧形弯管之间具有相反的弯曲方向，各个冷阱管内设有至少一该障板组，各个障板组具有多数个呈并排设置且间隔排列的倾斜障板及一冷却水管，该冷却水管具有多数条接触段，各个接触段贴抵于一该倾斜障板的一侧面。