[实用新型]一种具有强行控制装置的循环供应系统有效
| 申请号： | 201320284878.3 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN203266428U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张文武;太双;刁春华;周鹏;杨洪;廖伟杰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;F17D1/14 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有强行控制装置的循环供应系统，所述循环供应系统至少包括：供应管路结构和强行控制装置；所述供应管路结构至少包括：用于盛放所需液体的供应箱；用于提供动力来源的循环泵，该循环泵与所述供应箱的出口相连；所述强行控制装置用于紧急情况下强行启动所述循环泵，所述强行控制装置与供应管路结构中循环泵相连。该系统在紧急情况下用强行控制系统替换现有用于控制循环泵的控制系统，模拟现有控制系统控制循环泵的方式，从而使循环泵正常工作，增加了循环供应系统的强迫供应能力，减少供应系统问题对生产带来的影响和引起的财产损失，提升了循环供应系统的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 强行 控制 装置 循环 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种具有强行控制装置的循环供应系统，用于提供半导体设备所需液体，其特征在于，所述循环供应系统至少包括：供应管路结构和强行控制装置；所述供应管路结构至少包括：用于盛放所需液体的供应箱；用于提供动力来源的循环泵，该循环泵与所述供应箱的出口相连；所述强行控制装置用于紧急情况下强行启动所述循环泵，所述强行控制装置与供应管路结构中循环泵相连。
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