[实用新型]一种液晶显示器玻璃基板薄化设备

摘要

本实用新型公开了一种液晶显示器玻璃基板薄化设备，其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩，缓冲腔室的底部配装至少两条进液管，搭肩的上表面搭设滤网层，缓冲腔室内于滤网层的下方装设供气管道，供气管道包括集流管、进气管以及分流管，各集流管和各分流管分别开设透气孔，蚀刻箱体的上端部盖装蚀刻箱盖，蚀刻箱盖配装排气管。缓冲腔室起缓冲作用，透气孔对空气进行细化处理，滤网层对蚀刻剂和细小气泡进一步分流细化处理。故而，本实用新型一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另一方面能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内，能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

主权项

一种液晶显示器玻璃基板薄化设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有滤网层（3），滤网层（3）的边缘部搭设于搭肩（13）的上表面；缓冲腔室（12）内于滤网层（3）的下方装设有往蚀刻腔室（11）内供给气体的供气管道（4），供气管道（4）包括有两条平行且间隔布置的集流管（41），各集流管（41）分别配装有与外部气源连通的进气管（42），两条集流管（41）之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管（43），分流管（43）的两端部分别与相应侧的集流管（41）连接，各集流管（41）和各分流管（43）分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔（44）；蚀刻箱体（1）的上端部于蚀刻腔室（11）的上方盖装有蚀刻箱盖（5），蚀刻箱盖（5）配装有连通蚀刻腔室（11）的排气管（6）。