[实用新型]硅片清洗装置

摘要

本实用新型提供一种硅片清洗装置，包括清洗槽、转盘、支架、电机、给水管和泵，清洗槽固定安装在支架上，电机固定安装在清洗槽的底部，电机的输出轴延伸至清洗槽内，转盘固定安装在电机的输出轴上，转盘的表面开设有滤水孔，泵固定安装在支架的侧壁，清洗槽的底部开设有出水口，出水口上设有出水管，出水管的另一端与给水管合并成一路后连接至泵的输入端，泵的输出端连接有进水管，进水管的输出端延伸至清洗槽内，进水管的端部设有喷嘴，给水管和出水管上均设有阀。本实用新型硅片清洗装置，清洗效果好，效率高且减少了水浪费，降低了生产成本。

主权项

一种硅片清洗装置，其特征在于：包括清洗槽（1）、转盘（2）、支架（3）、电机（5）、给水管（8）和泵（9），所述清洗槽（1）固定安装在所述支架（3）上，所述电机（5）固定安装在所述清洗槽（1）的底部，所述电机（5）的输出轴延伸至所述清洗槽（1）内，所述转盘（2）固定安装在所述电机（5）的输出轴上，所述转盘（2）的表面开设有滤水孔，所述泵（9）固定安装在所述支架（3）的侧壁，所述清洗槽（1）的底部开设有出水口，所述出水口上设有出水管（7），所述出水管（7）的另一端与所述给水管（8）合并成一路后连接至所述泵（9）的输入端，所述泵（9）的输出端连接有进水管（10），所述进水管（10）的输出端延伸至所述清洗槽（1）内，所述进水管（10）的端部设有喷嘴（11），所述给水管（8）和出水管（7）上均设有阀（6）。