[实用新型]基板吸附装置及切割机有效
| 申请号： | 201320318364.5 | 申请日： | 2013-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN203359525U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 顾天筑;陆续;张颀;王礼强;汪平川 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G49/06 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李韬 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基板吸附装置包括可移动板、多个吸盘和吸引气压源。所述可移动板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述吸盘固定于所述第二表面上，且每一吸盘与所述吸引气压源连通。所述基板吸附装置还包括多个辅助垫片，所述辅助垫片固定于所述第二表面上，且所述辅助垫片的厚度大于或等于所述吸盘吸附于基板时所述基板与所述可移动板的间距。本实用新型还提出一种具有上述基板吸附装置的切割机。本实用新型的基板吸附装置及切割机可有效避免基板因局部压强过大变黑的情况发生，防止基板外观不良，有利于提高基板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 装置 切割机 | ||
【主权项】：
一种基板吸附装置，其包括可移动板、多个吸盘和吸引气压源，所述可移动板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述吸盘固定于所述第二表面上，且每一吸盘与所述吸引气压源连通，其特征在于：所述基板吸附装置还包括多个辅助垫片，所述辅助垫片固定于所述第二表面上，且所述辅助垫片的厚度大于或等于所述吸盘吸附于基板时所述基板与所述可移动板的间距。
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