[实用新型]合金蒸镀装置有效
| 申请号： | 201320320850.0 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN203360559U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈宜杰;苏奕全 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 中国台湾新竹县湖*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种合金蒸镀装置，包括：一中空本体、一储料容器、一电子加热单元、一第一金属镀膜材、一第二金属镀膜材以及一被蒸镀物；该储料容器上设有一第一容置槽和一第二容置槽，其分别容置该第一金属镀膜材与该第二金属镀膜材；该储料容器的第一容置槽和一第二容置槽之间具有一加热区，以利用该电子加热单元发射电子束于该加热区上，并加热该储料容器与该第一容置槽和一第二容置槽，使该第一金属镀膜材与该第二金属镀膜材对被蒸镀物进行蒸镀。本实用新型提出一种能达到精准控制合金蒸镀比例的合金蒸镀装置。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 装置 | ||
【主权项】：
一种合金蒸镀装置，其特征在于，包括：一中空本体；一储料容器，设于该中空本体内部，且其上设置有一第一容置槽、一第二容置槽以及一加热区域；一第一金属镀膜材，设于该第一容置槽内；一第二金属镀膜材，设于该第二容置槽内，其中，该储料容器的熔点较该第一金属镀膜材与该第二金属镀膜材的沸点高；一被蒸镀物，设于该中空本体内，且位于该储料容器上方；以及一电子加热单元，设于该中空本体内。
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