[实用新型]一种应用于微细电铸中的阴极单元有效

专利信息
申请号: 201320328746.6 申请日: 2013-06-08
公开(公告)号: CN203295632U 公开(公告)日: 2013-11-20
发明(设计)人: 范祥荣 申请(专利权)人: 苏州市金翔钛设备有限公司
主分类号: C25D1/10 分类号: C25D1/10
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种应用于微细电铸中的阴极单元,包括水平设置阴极模板(6)以及夹具体(1),阴极模板(6)边缘通过密封块(14)封闭,夹具体(1)包括上部设有开口的桶状固定槽(16),固定槽(16)内部设有与阴极模板(6)接触的加热装置。在阴极模板(6)上连接加热装置,对沉积面的电解液加热,提高其温度,使得沉积面与其他区域电解液之间产出温度差,这种方式能够强化电解液的对流,大大提高传质效果,而且阴极模板(6)呈水平设置,接触面积较大,能够提高传热效果。
搜索关键词: 一种 应用于 微细 电铸 中的 阴极 单元
【主权项】:
一种应用于微细电铸中的阴极单元,包括水平设置阴极模板以及夹具体,其特征在于,所述阴极模板边缘通过密封块封闭,所述夹具体包括上部设有开口的桶状固定槽,所述固定槽内部设有与所述阴极模板接触的加热装置。
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