[实用新型]一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置有效

专利信息
申请号: 201320342763.5 申请日: 2013-06-14
公开(公告)号: CN203312251U 公开(公告)日: 2013-11-27
发明(设计)人: 崔桂彬;鞠新华;郝京丽;贾惠平 申请(专利权)人: 首钢总公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 代理人: 刘月娥
地址: 100041 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置,属于实验设备制造技术领域。样品托(4)为长方体,表面有三个等间距凹槽,间距范围为4.5~6.5mm,凹槽贯穿于宽度方向,与长度方向垂直,每个凹槽上檐均有三个等间距圆孔,圆孔深度为80~120μm,圆孔直径范围3.1~3.5mm。优点在于,该装置一次性可以放置多个碳复型样品,且样品托上设计的凹槽可以很好的避免检测成分时背底信号的影响,定性结果更为准确,操作简便,快捷,实用性强。
搜索关键词: 一种 用于 扫描电镜 观察 超薄 样品 装置
【主权项】:
一种用于在扫描电镜下观察超薄圆片的样品托装置,其特征在于,样品托(4)为长方体,表面有三个等间距的凹槽,间距范围为4.5~6.5mm,凹槽贯穿于宽度方向,与长度方向垂直,每个凹槽上檐均有三个等间距圆孔,圆孔深度为80~120μm,圆孔直径范围3.1~3.5mm。
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