[实用新型]一种单晶硅棒存储装置有效
| 申请号： | 201320348244.X | 申请日： | 2013-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN203449296U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 叶欣;朱亮;沈文杰;孙明;周建灿 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B25H3/00 | 分类号： | B25H3/00;G01B7/02;G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶硅技术领域，旨在提供一种单晶硅棒存储装置。该装置包括一对上面板，相互平行地安装于底板上，其相对侧分别设置滚轮支架；滚轮支架上装有滚轮，两边的滚轮对向安装且相互之间留有间距；还安装有气缸，其运动部位是一个能够沿底板长度方向运行的方形平台，其上部安设有撞块，并在侧面设有位移传感器；在底板和上面板的两侧相对装有单晶硅棒检测传感器支架，单晶硅棒检测传感器支架上设有用于检测单晶硅棒尺寸和形状的传感器。该产品可存储6英寸和8英寸圆单晶棒和方单晶棒，能够测量晶棒的长度，可存储晶棒的各项数据并统一管理，方便与其他工序间的物流运输，不需人工参与，适用于单晶硅棒流水线加工车间的全自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 存储 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶硅棒存储装置，包括支撑柱；其特征在于，在支撑柱上安装有底板，一对长条形的上面板相互平行地安装于底板上，两个上面板的相对侧分别设置滚轮支架；滚轮支架上装有滚轮，两边的滚轮对向安装且相互之间留有间距；在位于两个上面板之间的底板上，还安装有用于测量单晶硅棒长度的气缸；气缸的运动部位是一个能够沿底板长度方向运行的方形平台，其上部安设有撞块，并在侧面设有位移传感器；在与方形平台相对一端的底板上设端面挡柱，端面挡柱上设有作为单晶硅棒长度测量零点的固定支点；在底板和上面板的两侧相对装有单晶硅棒检测传感器支架，单晶硅棒检测传感器支架上设有用于检测单晶硅棒尺寸和形状的传感器。
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