[实用新型]掩模版定位及传输装置有效
| 申请号： | 201320353862.3 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203350609U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 邹钱生;王长刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模版定位及传输装置，包括：X向运动单元和Y向运动单元，X向运动单元包括：前端安全定位件、末端安全定位件、用于控制前端安全定位件的第一气缸以及用于控制末端安全定位件的第二气缸，Y向运动单元包括：夹持板、多个夹持爪以及Y向气缸；前端安全定位件分设于所述掩模版定位及传输装置的前端两侧，末端安全定位件与所述前端安全定位件共同形成掩模版的夹持区域；夹持爪设置于所述夹持板的夹持区域处，所述夹持板的一端设置于一支撑件的底部，并由所述Y向气缸控制移动。采用前端安全定位件和末端安全定位件，可以实现掩模版交接时的水平度调节功能，提高掩模版定位精度，同时提高了掩模版的传输可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 定位 传输 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模版定位及传输装置，其特征在于，包括：X向运动单元和Y向运动单元，其中，所述X向运动单元包括：前端安全定位件、末端安全定位件、用于控制所述前端安全定位件的第一气缸以及用于控制所述末端安全定位件的第二气缸，所述Y向运动单元包括：夹持板、多个夹持爪以及Y向气缸；所述前端安全定位件分设于所述掩模版定位及传输装置的前端两侧，所述末端安全定位件与所述前端安全定位件共同形成掩模版的夹持区域；所述多个夹持爪设置于所述夹持板的夹持区域处，所述夹持板的一端设置于一支撑件的底部，并由所述Y向气缸控制移动。
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