[实用新型]一种镀减反射膜设备

摘要

本实用新型提供了一种镀减反射膜设备，所述镀减反射膜设备包括进料腔室、预热腔室、工艺腔室、冷却腔室和出料腔室，其中，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的顶部均至少设置有一个气体吹扫装置，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的底部均至少设置有一个碎屑排出口。在对一批硅片进行镀减反射膜前，首先对三个腔室进行氮气吹扫清理，保证腔室内部清洁，进而保证放入腔室内的每一批硅片的镀膜面的清洁，减少出现色差片的情况，提高了镀减反射膜的合格率，进而提高制作太阳能电池合格率。

主权项

一种镀减反射膜设备，包括进料腔室、预热腔室、工艺腔室、冷却腔室和出料腔室，其特征在于，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的顶部均至少设置有一个气体吹扫装置，所述进料腔室、所述预热腔室和所述工艺腔室的底部均至少设置有一个碎屑排出口。