[实用新型]基板减薄固定工具及基板减薄装置有效
| 申请号： | 201320448090.1 | 申请日： | 2013-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN203360279U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 谷丰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板减薄固定工具及基板减薄装置，所述基板减薄固定工具用于将基板设置于蚀刻槽内，包括：能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。本实用新型所提供的基板减薄固定工具通过设置旋转机构，可以使得基板在整个化学浸泡减薄过程中周向旋转360°，以确保基板的各个区域都充分与蚀刻液充分接触反应，从而使得基板的各个区域反应速率相对恒定，提高了化学减薄后的基板的厚度均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板减薄 固定 工具 装置 | ||
【主权项】：
一种基板减薄固定工具，用于将基板设置于蚀刻槽内，其特征在于，所述基板减薄固定工具包括：能够设置于蚀刻槽内，并与基板保持固定的固定机构；以及，能够带动所述固定机构旋转，以带动基板围绕垂直于基板的一轴心线进行周向旋转的旋转机构，所述旋转机构与所述固定机构连接。
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