[实用新型]一种PCB板内外层线路量测仪有效
| 申请号： | 201320479837.X | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN203405180U | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陈忠一 | 申请（专利权）人： | 昱鑫科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 王永文;刘文求 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PCB板内外层线路量测仪，包括偏振干涉共焦显微装置、工业相机、FPGA相位卡和计算机，工业相机用于捕捉偏振干涉共焦显微装置产生的测量信号并传送至FPGA相位卡，FPGA相位卡用于对测量信号进行相位测量，将含有PCB板内层或外层线路中待测线条台阶边缘位置信息的相位变化数据传送至计算机；由于采用了偏振干涉共焦显微装置，利用不同偏振方向的线偏振光照射到台阶边缘反射后产生的相位变化特性，对PCB板内层或外层线路的线条边缘进行定位，其精度可达0.1°，设置十字线也非常简单快捷，由此提高了对PCB板内外层线路线宽线距量测的精度和效率，在降低系统成本的同时也降低了人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pcb 外层 线路 量测仪 | ||
【主权项】：
一种PCB板内外层线路量测仪，其特征在于，包括带有光源的偏振干涉共焦显微装置、具有量测功能的工业相机、FPGA相位卡和计算机，所述工业相机用于捕捉所述偏振干涉共焦显微装置产生的测量信号并传送至所述FPGA相位卡，所述FPGA相位卡用于对所述测量信号进行相位测量，将含有PCB板内层或外层线路中待测线条台阶边缘位置信息的相位变化数据传送至所述计算机。
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