[实用新型]化学机械研磨固定具有效
| 申请号： | 201320496458.1 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN203471551U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 颜慧贞 | 申请（专利权）人： | 楷丰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;常大军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 种化学机械研磨固定具，包含：固定座与固定环。其中，固定座具有一第一结合面与多个由PPS材质所制成的凸块，凸块环状排列设于该第一结合面，每个凸块包含：第一卡合面，沿固定座的径向延伸的平面，自第一卡合面的根部向凸块的外侧倾斜。固定环具有第二结合面与多个与凸块对应的第一凹槽，第一凹槽环状排列设于该第二结合面，每个第一凹槽包含：第二卡合面，沿固定环的径向延伸的平面，自第二卡合面的根部向第二结合面倾斜而形成倒钩结构。其中固定座与固定环轴向对齐，使得第一结合面对齐第二结合面，凸块分别与第一凹槽对齐，固定座与固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使凸块的第一卡合面与第一凹槽的第二卡合面卡合。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 固定 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨固定具，其特征在于，包含：一固定座，包含：一环形基材，具有一第一结合面；及多个凸块，环状排列设于该第一结合面，各该凸块的材质为聚苯硫醚，各该凸块包含一第一卡合面，该第一卡合面沿该环形基材的径向延伸的平面且自其根部向该凸块的外侧倾斜；及一固定环，具有一第二结合面与多个第一凹槽，该多个第一凹槽环状排列设于该第二结合面，各该第一凹槽的局部周缘构成一第二卡合面，该第二卡合面自其根部向该第二结合面倾斜；该凸块设置于该第一凹槽位置，藉由该固定座与该固定环分别沿圆周方向逆向旋转而使该凸块的第一卡合面卡合于该第一凹槽的第二卡合面。
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