[实用新型]进气装置

摘要

本实用新型公开了一种进气装置。包括层叠设置的主体部分和热壁层，所述主体部分包括第一气体腔室，所述主体部分和热壁层之间的区域构成第二气体腔室，所述第一气体腔室具有第一气体管路、所述第二气体腔室具有第二气体管路，所述第一气体管路和第二气体管路的出气口之间引入有隔离气体。相比而言，本实用新型能够吸收由进气装置下方的托盘产生的热量，使得在进气装置下表面的预反应生成的颗粒会变得致密，不容易脱落到托盘上而形成颗粒沾污；而且，第一气体管路和第二气体管路的出气口之间引入有隔离气体，能够减少或避免在热壁层处发生预反应，既能够减少颗粒污染的产生，又能够提高反应气体的利用率。

主权项

一种用于MOCVD工艺的进气装置，其特征在于，所述进气装置包括：层叠设置的主体部分和热壁层，所述主体部分包括第一气体腔室，所述主体部分和热壁层之间的区域构成第二气体腔室，所述第二气体腔室位于所述第一气体腔室下方；所述第一气体腔室具有第一气体管路、所述第二气体腔室具有第二气体管路，所述第一气体管路贯穿所述第二气体腔室和所述热壁层，所述第二气体管路贯穿所述热壁层；所述第一气体管路和第二气体管路的出气口之间引入有隔离气体。