[实用新型]多晶硅还原炉可调多路进气结构有效
| 申请号： | 201320509742.8 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN203461826U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 程佳彪;茅陆荣;沈刚;吴海龙 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型多晶硅还原炉可调多路进气结构，主要由进气支管、进气环管、进气总管、流量调节阀和测温仪组成。原料气分别从进气总管进入到进气环管，再通过进气支管进入到炉体内部。进气总管中设置的测温仪可测量进气温度，反馈到系统控制中心，控制中心可根据监测到的值按照工艺条件精确调节各进气总管中的进气温度，保持炉内温度场的稳定。进气总管中设置的流量调节阀可测量进气量，并通过远程控制,设置流量调节阀的开度以调整流量，实现对炉内气体量的控制,保持合理供料。本实用新型主要通过还原炉底盘进气口设置多路进气结构来调节炉体不同部位的进气温度和进气量，从而达到整个工作过程中炉内温度场和气场均匀分布的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 可调 多路进气 结构 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉可调多路进气结构，包括进气环管（2），进气总管（3），所述进气总管（3）与进气环管（2）连接，所述进气环管（2）与进气支管（1）连接，其特征在于，所述进气总管（3）上设置流量调节阀（4）。
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