[实用新型]直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置有效
申请号: | 201320512798.9 | 申请日: | 2013-08-21 |
公开(公告)号: | CN203462164U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 张鑫;潘永娥;李强 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,包括挂件和主杆,挂件和主杆固定连接,主杆上设有感应计数装置。感应计数装置包括感应器和数据显示器,数据显示器与主杆滑动连接,数据显示器固定连接有感应器;挂件包括主挂件和设置于主挂件一端的卡爪Ⅱ,主挂件的另一端固定安装有滑动副挂件,滑动副挂件上设有卡爪Ⅰ;主杆上设置有刻度尺。本实用新型设置感应计数装置,可以精确的测量出籽晶行程,准确测量出晶体长度,从而准确算出剩料量,准确判断是否收尾,克服了目测误差较大导致的物料浪费和收尾不稳的问题,提高了成晶率,降低了生产成本。 | ||
搜索关键词: | 直拉法 生长 单晶硅 籽晶 行程 校准 装置 | ||
【主权项】:
直拉法生长单晶硅用籽晶行程校准装置,其特征在于:包括挂件和主杆,所述挂件和主杆固定连接,所述主杆上设有感应计数装置。
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