[实用新型]晶圆电镀的挂具有效
| 申请号： | 201320563447.0 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN203462153U | 公开（公告）日： | 2014-03-05 |
| 发明（设计）人： | 王江锋;陈建平;汪文珍;杨明;饶荣承 | 申请（专利权）人： | 深圳市创智成功科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 万志香;曾凤云 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆电镀的挂具，其包括上盖、下板、金属导电环，所述上盖内壁设有内螺纹；所述下板上设有晶圆槽，所述晶圆槽的中部开设有电镀孔；所述晶圆槽的外壁设有外螺纹，与所述内螺纹啮合；所述晶圆槽的内壁与所述电镀孔之间设置有平台，所述金属导电环设置于该平台上。本实用新型晶圆电镀的挂具的上盖采用旋转方式锁紧，不用螺丝人工装卸，操作方便，力度均匀，导电性、密封性能好，所得晶圆镀层均匀，大大节省人力和晶圆报废风险。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 | ||
【主权项】：
一种晶圆电镀的挂具，其特征在于，包括上盖、下板、金属导电环，所述上盖内壁设有内螺纹； 所述下板上设有晶圆槽，所述晶圆槽的中部开设有电镀孔； 所述晶圆槽的外壁设有外螺纹，与所述内螺纹啮合； 所述晶圆槽的内壁与所述电镀孔之间设置有平台，所述金属导电环设置于该平台上。
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