[实用新型]一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，具有镀膜机箱体，镀膜机箱体内依次间隔设有放卷室、过渡室、镀膜室和收卷室，所述放卷室内设有放卷轮盘，所述过渡室内设有基膜传送导辊，所述收卷室内设有收卷轮盘和收卷轮盘驱动电机，所述镀膜室的箱体顶壁和底壁上分别设有磁控靶，所述过渡室和镀膜室的数量为多个，交错设置在所述放卷室和收卷室之间；所述镀膜室的箱体顶壁和底壁上设置的磁控靶分别为铬材料磁控靶和石墨材料磁控靶。采用上述连续卷绕真空离子镀膜机可以一次完成固态电容负极碳箔的制备，制备碳箔的成品率高。

主权项

一种制备薄膜式电容负极碳箔的连续卷绕真空离子镀膜机，具有镀膜机箱体，镀膜机箱体内依次间隔设有放卷室（1）、过渡室（2）、镀膜室（3）和收卷室（4），所述放卷室（1）内设有放卷轮盘（11），所述过渡室（2）内设有基膜传送导辊（21），所述收卷室（4）内设有收卷轮盘（41）和收卷轮盘驱动电机，所述镀膜室（3）的箱体顶壁和底壁上分别设有磁控靶，其特征在于：所述过渡室（2）和镀膜室（3）的数量为多个，交错设置在所述放卷室（1）和收卷室（4）之间；所述镀膜室（3）的箱体顶壁和底壁上设置的磁控靶分别为铬材料磁控靶（31）和石墨材料磁控靶（32）。