[实用新型]晶体生长设备的底盘有效
| 申请号： | 201320592389.4 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203487281U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邱萍;茅陆荣;李广敏;朱晓龙;缪锦泉 | 申请（专利权）人： | 森松（江苏）重工有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 226500 江苏省南通市如皋市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶体生长设备的底盘，包含由底盘环、上挡板、下挡板构成的底盘主体；所述上挡板、所述下挡板与所述底盘环之间形成腔体；所述晶体生长设备的底盘还包含：分别沿轴向贯穿所述下挡板的进口管和出口管；所述进口管通过所述腔体与所述出口管导通；所述晶体生长设备的底盘还包含：径向插入所述底盘环内的排气管，所述排气管与所述腔体导通。同现有技术相比，在设备升温前通入冷却介质，利用排气管将腔体内的气体顺利排除干净，防止在底盘上部表面形成一层气膜，降低传热效果，对设备内部热场分布造成影响，对晶体生长造成破坏。此外，由于通过排气管能够将腔体内多余的气体排除，所以保证了设备的安全运行，消除了安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 底盘 | ||
【主权项】：
一种晶体生长设备的底盘，包含由底盘环、上挡板、下挡板构成的底盘主体，其特征在于：所述上挡板、所述下挡板与所述底盘环之间形成腔体； 所述晶体生长设备的底盘还包含：分别沿轴向贯穿所述下挡板的进口管和出口管；所述进口管通过所述腔体与所述出口管导通； 所述晶体生长设备的底盘还包含：径向插入所述底盘环内的排气管，所述排气管与所述腔体导通。
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