[实用新型]晶片烘烤装置及带有该装置的自动显影机有效
| 申请号： | 201320600277.9 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN203551947U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 张家豪;徐翊翔;黄照明;黄钦泽 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F7/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于光刻工艺的晶片烘烤装置及带有该装置的自动显影机，可直接应用于自动显影机或上胶机。该晶片烤烤装置直接在烘烤室内安装了晶片冷却单元，从而在晶片做完硬烤处理后可马上进行冷却，使得晶片保持在预定温度（环境温度），可以有效防止温度差异导致的化学反应，提高图形均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 烘烤 装置 带有 自动 显影 | ||
【主权项】：
晶片烘烤装置，包括：烘烤室，具有用于放\取晶片的开口；热盘，安装于所述烘烤室内，用于放置晶片；冷却单元，安装于所述烘烤室内，用于冷却烘烤处理后的晶片。
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