[实用新型]一种气体混合器

摘要

实用新型公开一种气体混合器。该气体混合器包括第一空心球和第二空心球，在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处；所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接；所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。采用本实用新型的气体混合器可以实现气体的快速充分混合，混合气体浓度不易产生波动，混合气体的质量稳定可靠，有效地提高和控制半导体生长质量。

主权项

一种气体混合器，包括第一空心球和第二空心球，在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处；所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接；所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。