[实用新型]基板涂布装置有效
| 申请号： | 201320604178.8 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN203648808U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 徐纬祥 | 申请（专利权）人： | 富宸自动控制有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C11/02 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种基板涂布装置，包含一个承载台、一个气泵单元、一个涂布单元，及一个控制单元。该承载台包括一个供一个基板设置的吸附区及至少一个空气通道。该空气通道于该吸附区的表面形成数个间隔设置的开口。该气泵单元包括一个气泵及一个三通电磁阀。该三通电磁阀的其中二个端口分别借由一个管路连通该空气通道及该气泵，另一个端口与外界大气相连通。该涂布单元用以于该基板上形成一个涂布层。该控制单元电连接该取放单元、该气泵单元及该涂布单元。上述基板涂布装置，可以提供一种厚度均匀的涂布层。 | ||
| 搜索关键词： | 基板涂布 装置 | ||
【主权项】：
一种基板涂布装置，其特征在于：该基板涂布装置包含一个承载台、一个气泵单元、一个涂布单元，及一个控制单元，该承载台包括一个供一个基板设置的吸附区及至少一个空气通道，该空气通道于该吸附区的表面形成数个间隔设置的开口；该气泵单元包括一个气泵及一个三通电磁阀，该三通电磁阀的其中二个端口分别借由一个管路连通该空气通道及该气泵，而另一个端口与外界大气相连通；该涂布单元用以于该基板上形成一个涂布层；该控制单元电连接该气泵、该三通电磁阀及该涂布单元。
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