[实用新型]一种区熔晶体生长用保温装置及区熔炉有效
申请号: | 201320627238.8 | 申请日: | 2013-10-11 |
公开(公告)号: | CN203593807U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 冷先锋;王楠 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及区熔晶体生长设备的技术领域,公开了一种区熔晶体生长用保温装置及一种区熔炉。所述区熔晶体生长用保温装置,包括:金属环;套于所述金属环外侧并与所述金属环导热接触的水管;套于所述金属环内侧并与所述金属环导热接触的保温罩,所述保温罩的导热率小于所述金属环的导热率。在本实用新型技术方案中,在金属环内侧有与金属环导热接触的保温罩,由于保温罩的导热率小于外侧金属环的导热率,因此,保温罩内可维持一定的热量,减缓热扩散速度,降低保温罩内单晶开裂的概率,提高大直径单晶的成品率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 保温 装置 熔炉 | ||
【主权项】:
一种区熔晶体生长用保温装置,其特征在于,包括:金属环(1);套于所述金属环(1)外侧并与所述金属环(1)导热接触的水管(2);套于所述金属环(1)内侧并与所述金属环(1)导热接触的保温罩(3),所述保温罩(3)的导热率小于所述金属环(1)的导热率。
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