[实用新型]具有传感器设备的丝锯装置有效
| 申请号： | 201320629842.4 | 申请日： | 2013-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN203739024U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | C·佐米尼;M·比约 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张欣 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本实用新型公开了具有传感器设备的丝锯装置。本实用新型提供用于锯切半导体工件的丝锯装置(200)。所述丝锯装置包括：用于接收绕线管(250)的绕线管接收设备(210)，所述绕线管在绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260；270)；和传感器设备(220)，用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260；270)的操作状态。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 传感器 设备 装置 | ||
【主权项】：
一种用于锯切半导体工件(102；104；106；108)的丝锯装置(200；300；400；500；600)，其特征在于，所述丝锯装置包括： 用于接收绕线管(250；350；450；550；650；651)的绕线管接收设备(210；310；410；510)，所述绕线管在所述绕线管的每一端包括绕线管凸缘(260,270；360,370；460,470；560,570；660,670；661；671)；和 传感器设备(220；320；420；520；620)，所述传感器设备用于测量至少一个所述绕线管凸缘(260,270；360,370；460；470；560,570；660,670；661；671)的操作状态。
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