[实用新型]一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器

摘要

本实用新型公开了一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它涉及有机化学技术领域，箱体的上端安装有上盖，箱体的两端分别安装有进水管、出水管，上盖上安装有进气管一、进气管二，气管一、进气管二分别与进气室一、进气室二连接，进气室一、进气室二的下端安装有反应室，反应室的下端安装有支柱，支柱上安装有传感器，箱体的底部安装有导流板，箱体的内壁设置有螺纹管道，螺纹管道上安装有喷射管；它使得冷却水形成湍流，流动时既有纵向扰动，又有旋转运动，彻底破坏了热边界层，并且流体在向前运动过程中连续改变方向，能使得冷却水顺利的流出循环，使用方便，操作简便。

主权项

一种用于金属有机化学气相沉积设备的喷雾器，它包含上盖(1)、箱体(2)、进水管(3)、出水管(4)、进气管一(5)、进气管二(6)、进气室一(7)、进气室二(8)、反应室(9)，其特征在于：它还包含螺纹管道(10)、喷射管(11)、支柱(12)、传感器(13)、导流板(14)，箱体(2)的上端安装有上盖(1)，箱体(2)的两端分别安装有进水管(3)、出水管(4)，上盖(1)上安装有进气管一(5)、进气管二(6)，气管一(5)、进气管二(6)分别与进气室一(7)、进气室二(8)连接，进气室一(7)、进气室二(8)的下端安装有反应室(9)，反应室(9)的下端安装有支柱(12)，支柱(12)上安装有传感器(13)，箱体(2)的底部安装有导流板(14)，箱体(2)的内壁设置有螺纹管道(10)，螺纹管道(10)上安装有喷射管(11)。