[实用新型]一种扩散设备

摘要

本实用新型公开了一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶、气源和扩散炉，所述源瓶和所述气源通过进气管连通，所述源瓶和所述扩散炉通过出气管连通，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶内所述源液的实际液位，源瓶内源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶补充所述源液。与现有技术相比，上述扩散设备在原有源瓶的基础上，引入了补液部件和液位检测部件，当源瓶内实际液位低于预设液位时，由补液部件向源瓶补充源液，直至源液实际液位升高至预设液位处，使源瓶内源液量基本保持不变，以保证携带气体内的源液量基本恒定，从而提高太阳能电池片的方阻均匀性，进而提高其电性能。

主权项

一种扩散设备，包括用于盛放扩散用源液的源瓶(1)、气源和扩散炉，所述源瓶(1)和所述气源通过进气管(2)连通，所述源瓶(1)和所述扩散炉通过出气管(3)连通，其特征在于，还包括补液部件和液位检测部件，所述液位检测部件用于检测所述源瓶(1)内所述源液的实际液位，所述源瓶中所述源液的实际液位低于预设液位，所述补液部件为所述源瓶(1)补充所述源液。