[实用新型]一种除尘风橱有效
| 申请号： | 201320656243.1 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN203592408U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 | 申请（专利权）人： | 洛阳市鼎晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种除尘风橱，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其中所述除尘风橱为密闭式风橱，设置于硅片传送带的上方，并且由所述硅片传送带的上方向下延伸至所述硅片传送带的上表面；在所述除尘风橱内设有金刚砂喷嘴。本实用新型通过在金刚砂喷嘴外设置除尘风橱，使除尘风橱由金刚砂喷嘴的上方延伸至硅片传送带的上表面，可以对喷砂时产生的粉尘进行有效控制，避免粉尘飞扬。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 除尘 | ||
【主权项】：
一种除尘风橱，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其特征在于：所述除尘风橱为密闭式风橱，设置于硅片传送带的上方，并且由所述硅片传送带的上方向下延伸至所述硅片传送带的上表面；在所述除尘风橱内设有金刚砂喷嘴。
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