[实用新型]固晶机检测机构

摘要

本实用新型适用于半导体固晶技术领域。本实用新型固晶机检测机构，包括设于机架的平移电机，该平移电机转轴与旋转焊臂连接座连接，在旋转焊臂连接座上设有四个焊臂，每个焊臂上设有晶圆吸嘴，在旋转焊臂连接座下方且位于晶圆吸嘴的正下方设有反光镜，该反光镜的一侧设有与控制模块连接的摄像机，检测时晶圆吸嘴位于反光镜的正上方，所述反光镜所反射的晶圆图像与摄像机同光轴。工作时至少一晶圆位于固晶位置，另一晶圆位于检测位置。由于在固晶的同时另一晶圆在进行检测，使得检测与固晶两个工艺在两个晶圆上同时进行，即对一个晶圆进行固晶时，对另一个晶圆进行检测，可以避免采用先检测再进行固晶时固定单位数量晶圆时间长，提高固晶的效率。

主权项

固晶机检测机构，其特征在于： 设于机架的平移电机，该平移电机转轴与旋转焊臂连接座连接，在该旋转焊臂连接座上设有四个焊臂，每个焊臂上设有晶圆吸嘴，在旋转焊臂连接座下方且位于晶圆吸嘴的正下方设有反光镜，该反光镜的一侧设有与控制模块连接的摄像机，检测时所述晶圆吸嘴位于所述反光镜的正上方，所述反光镜所反射的晶圆图像与摄像机同光轴。