[实用新型]蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320689762.8 | 申请日： | 2013-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN203530417U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;郭炜;张家奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示装置制备技术领域，具体涉及一种蒸镀设备。该蒸镀设备包括蒸发源、蒸汽存储机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽存储机构用于存储所述蒸发源提供的有机蒸汽并可控的输入至所述喷射机构；所述喷射机构用于将输入的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。本实用新型实施例所提供的蒸镀设备，通过设置蒸汽存储机构，利用蒸汽存储机构将蒸发源提供的有机蒸汽预先存储起来，而不是直接喷射至目标基板，这样，通过调整蒸汽存储机构输出有机蒸汽的流量，即可控制蒸镀的速率，因此，可以有效减少蒸镀设备对晶振片的依赖，增强了蒸镀设备的连续运作能力，为提升OLED显示器件的制备效率提供了有力的技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸发源、蒸汽存储机构以及喷射机构；所述蒸发源用于提供有机蒸汽；所述蒸汽存储机构用于存储所述蒸发源提供的有机蒸汽并可控的输入至所述喷射机构；所述喷射机构用于将输入的有机蒸汽喷射到基板上形成有机镀膜。
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