[实用新型]载台装置及其应用的作业单元有效
| 申请号： | 201320717641.X | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN203588983U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 邱铉尧 | 申请（专利权）人： | 台湾暹劲股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种载台装置及其应用的作业单元，该作业单元是在作业区设有反向配置的第一、二载台装置及第一、二处理装置，并以第一载台装置将基板移载至第一处理装置下方，再以第二载台装置接续移载至第二处理装置上方，以执行基板正、反面的处理作业；该第一、二载台装置是在基座上设有至少一承置部件，该承置部件上设有复数个供架置基板的架置部，以及复数个与各架置部间隔设置的间隔槽，还在该承置部件的各架置部分别设有具夹爪的夹掣部件，并以驱动结构驱动各夹爪夹掣定位基板；如此，第一、二载台装置承置部件的架置部及间隔槽交错对位，并利用各间隔槽提供各夹爪作释放或夹掣的作动空间，即可快速进行基板正、反面的处理作业，简化制程并提升作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 应用 作业 单元 | ||
【主权项】：
一种载台装置，其特征在于，包含有： 基座； 至少一承置部件：设于基座上，该承置部件上设有复数个供架置基板的架置部，以及复数个与各架置部间隔设置的间隔槽； 夹掣部件：在承置部件的架置部分别设有夹爪，并以驱动结构驱动各夹爪夹掣定位基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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