[实用新型]高速高精直线驱动并联XY平台有效
申请号: | 201320746432.8 | 申请日: | 2013-11-22 |
公开(公告)号: | CN203636226U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 林协源;刘冠峰;陈新 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B23K37/00 | 分类号: | B23K37/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 510000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种高速高精直线驱动并联XY平台,涉及超精密定位设备领域,包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台,所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接,所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动,所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动,所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。本实用新型的高速高精直线驱动并联XY平台结构简单、刚度高。 | ||
搜索关键词: | 高速 直线 驱动 并联 xy 平台 | ||
【主权项】:
一种高速高精直线驱动并联XY平台,其特征在于,包括平台基座、分别固定在所述平台基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安装在第一基座上的第一直线电机、固定安装在所述第二基座上的第二直线电机以及位于所述第三基座上方的动平台,所述动平台分别与所述第一直线电机和第二直线电机连接,所述第一直线电机驱动所述动平台沿X轴向运动,所述第二直线电机驱动所述动平台沿Y轴向运动,所述动平台和所述第三基座之间设有气浮垫,所述气浮垫与所述动平台固定安装。
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