[实用新型]用于沉积工艺的防护罩

摘要

本实用新型的实施例提供一种用于沉积工艺的防护罩。在一个实施例中，防护罩包含矩形框架构件，矩形框架构件具有两个相对的主要侧面和两个相对的次要侧面，主要侧面和次要侧面中的每一个包含第一侧面、第二侧面、第二外部侧壁和内部侧壁，第二侧面与第一侧面相对并且经由第一外部侧壁连接到第一侧面，第二外部侧壁设置在第一外部侧壁内部并界定从第二侧面的平面凸出的上升区域，内部侧壁连接上升区域和第一侧面。防护罩还包含矩形条状物，矩形条状物设置在所述上升区域的表面上，矩形条状物包含第一末端和第二末端，第二末端耦合到第一末端并且延伸进入框架构件的内部区域内。

主权项

一种用于沉积工艺的防护罩，所述防护罩包括：矩形框架构件，所述矩形框架构件具有两个相对的主要侧面和两个相对的次要侧面，所述主要侧面和所述次要侧面中的每一个包括：第一侧面；第二侧面，所述第二侧面与所述第一侧面相对并且经由第一外部侧壁连接到所述第一侧面；第二外部侧壁，所述第二外部侧壁设置在所述第一外部侧壁内部并且界定上升区域，所述上升区域从所述第二侧面的平面凸出；以及内部侧壁，所述内部侧壁连接所述上升区域和所述第一侧面，以及矩形条状物，所述矩形条状物设置在所述上升区域的表面上，所述矩形条状物包括：第一末端；和第二末端，所述第二末端耦合到所述第一末端并且延伸进入所述框架构件的内部区域。