[实用新型]一种溅镀用固持装置有效
| 申请号： | 201320823989.7 | 申请日： | 2013-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN203668504U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 渭南高新区晨星专利技术咨询有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 714000 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种溅镀用固持装置，其包括：一个基板，用于承载基材，所述基板上开设多个放置孔及多个与所述放置孔相对应的滑轨，所述滑轨沿垂直所述放置孔的方向开设；以及多个抵片，所述抵片开设与所述基材及所述基板厚度相匹配的滑槽，且所述抵片由所述放置孔导入所述滑轨，并沿所述滑轨滑动以使所述基材及所述基板卡设在所述滑槽中，所述多个抵片环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材。所述溅镀用固持装置通过设置多个抵片以分别从所述基材的侧面抵持住该基材，从而可于溅镀过程中对所述基材起固持作用，所述固持装置结构设置简单，可使所述基材获得较佳的溅镀效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅镀用固持 装置 | ||
【主权项】：
一种溅镀用固持装置，用于在溅镀过程中对基材进行固持，所述固持装置包括：一个基板，用于承载所述基材，所述基板上开设多个放置孔及多个与所述放置孔相对应的滑轨，所述滑轨沿垂直所述放置孔的方向开设；以及多个抵片，所述抵片开设与所述基材及所述基板厚度相匹配的滑槽，且所述抵片由所述放置孔导入所述滑轨，并沿所述滑轨滑动以使所述基材及所述基板卡设在所述滑槽中，所述多个抵片环绕所述基材分布在基板上，以分别从所述基材的侧面抵持住该基材。
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